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半導體潔淨烘箱

半導體潔淨烘箱

産品詳情

一、 適用區域

本烘箱適合于潔淨車間內使用,適用于高精密半導體中烘幹,膠水固化,精密光學元件清洗後烘幹等熱處理。

二、 設備特點

  1. SUS304 1.5mm不鏽鋼板,全滿焊工藝;

  2. 箱內風道內設有潔淨空氣入口並裝有高效過濾器。可使用換氣和不換氣模式,可以使箱內保證微正壓,以保證汙染物不能進入內箱;

  3. 高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室,可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求,可以满足洁净级别ISO Class 5(国标100级),ISO Class 6(国标1000级),ISO Class 7(国标10000级)等各种等级的需求;

  4. 配置自動充氮氣裝置,與自動開關風門進行充氮烘烤;

  5. 全新開發觸摸屏操作系統,帶高精度PID主控儀,控溫精度爲±0.1℃,自動恒溫。可以保存配方,查看溫度曲線,導出升溫數據等;

  6. 根據使用要求,可以接受定制。

三、 規格明細表

型號

YH-J100-ES-02

工作穩定範圍

常溫—150℃

使用電壓

三相五線380V,50Hz

控溫精度

±0.1℃

加熱功率

6KW

溫度均勻性

±3%℃

溫度穩定度

±2℃

尺寸

工作尺寸

H910mm*W620mm*D620mm


 

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